北京研拓科技有限公司成立于2005年,是一家致力于射頻技術、特種電源和真空測試等領域生產和研發的高新技術企業。
2006年由美國COMDEL公司投資成立COMDEL北京維修中心,負責中國區射頻電源的維修和服務。2008年升級為COMDEL中國辦事處,主要負責:
◆中國區射頻電源的銷售
◆中國區射頻電源的維修(保修期內免費)
◆售前售后技術咨詢和服務
◆客戶現場技術
射頻領域:先后為應用材料公司、牛津儀器、諾發科技等國際知名設備供應商提供維修和技術支持等服務。
產品種類:
◆單頻射頻電源
◆雙頻射頻電源
◆直流電源
◆ESC靜電卡盤電源
◆自動調諧匹配網絡
應用對象包括:刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等系統,也可作為工廠業系統中感應加熱和電介質加熱設備的電源。
另,由我公司成功研制的600W、2000W、5000W國產射頻匹配器,廣泛適用于等離子體刻蝕、鍍膜、清洗、等離子體增強、感應加熱以及太陽能制造設備PECVD制作中,具有功率覆蓋范圍大(50W-5KW)、匹配時間短(≤3秒)、指示功能全、操作簡單等優勢,可通過數字接口實施計算機數據采集和控制,輕松實現實時入射功率、反射功率、直流偏壓等的測量。該匹配器與電源完全獨立,可配置AE、COMDEL、微電子中心等多家品牌的射頻電源,Zui大限度節約射頻系統成本。
公司擁有業內工程師,承接各種品牌射頻電源維修業務,改造國產手動匹配器。
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