矽翔微機電系統（上海）有限公司成都分公司

 

矽翔微機電系統有限公司(矽翔公司，Siargo Ltd. )成立于2003年，公司總部位于美國加州硅谷。矽翔公司是目前世界唯一生產具有自主知識產權、低功耗、超大量程MEMS氣體流量計并使之產品化的廠商。其核心部件一MEMS流量芯片及其專利封裝技術由公司自主研發，可用于各類氣體及微流體的流量計量和測控，為傳統的流體計量帶來了根本性變革，提供了全新的拓展空間。傳感器可測量低至0.01m/sec及高達65m/sec。針對不同的應用，傳感器可用于測量氣體的質量流量、體積流量及介質流速。專門設計的電路具有放大及微小信號處理功能以保證高精度輸出。 不同于其它MEMS傳感技術，矽翔微機電系統有限公司在單個傳感芯片上集成多個傳感器。芯片表面采用具有高導熱性能的陶瓷材料鈍化處理，在保證傳感器的靈敏度的同時避免傳感器與氣體介質直接接觸以提高其可靠性。當沒有氣體介質流過MEMS傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩定的溫度場(溫度分布)。當氣體介質流過傳感器芯片時，溫度場因為流體介質帶走熱量導致局部溫度重分布。這種局部溫度場變化取決于流體介質的質量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進行測量，通過校準，專門設計的信號處理電路和智能控制軟件可測量實際的介質質量流速。介質質量流速則可換算成體積流速及累計介質體積流量。 矽翔微機電系統有限公司的流量傳感器可采用多種形式的封裝，從而增加了其應用的廣泛性。 矽翔公司基于MEMS 技術的流量芯片廣泛應用于醫療麻醉與呼吸設備，工業制造業用氣測量及過程控制，環保等多個領域；在醫院中心供氧、制氧設備、分床計費系統，食品加工，科學氣體分析儀器，樓宇自控，民用健身、保健設備等領域也有廣泛的應用；在全新的燃料電池等科技領域亦有的應用。 目前，產品已銷售到美國、日本、歐洲、南美、大洋洲、東南亞等多個國家和地區。 矽翔公司是GB/T 20727-2006《熱式質量流量計》起草單位之一。